Wafer Handling Platform

      • HAUPTMERKMALE

      Unsere EFEM-Plattform bietet ultrareine, zuverlässige Leistung für die Handhabung von Wafern.

      Eine bis zu vier+ FOUP- oder SMIF-Schnittstellen.

      Hochpräzise Funktionen zum Ausrichten von Wafern und Option zum Drehen von Wafern .

      3- und 4-Achs-Roboter als Standardausstattung erhältlich.

      Mini-Umgebung zur Kontaminationskontrolle sowie Filteroptionen für luftgetragene molekulare Kontamination.

      Optimimiert gemäß Kosten und Kontaminationsgraden, um die Anforderungen an Reinräume der ISO-Klasse zu erfüllen.

      Runde Wafer mit 100, 150, 200 und 3000 mm Durchmesser (anpassbar für andere Materialien, Formen und Größen).

      Anpassbar an verschiedene Wafer-Technologien, einschließlich Film-Rahmen-Trägerstrategien, Taiko-Wafern, dünnen/dicken Wafern, gebondeten Wafern, nicht-flachen Wafern oder Wafern mit 3D-Strukturen und Wafern aus Glas.

      Eine Rundumlösung für optimale Ergebnisse

      Unsere EFEM-Plattform kann als Standard-EFEM fungieren oder an die Anforderungen Ihrer Anwendung in Bezug auf Sauberkeit, Handhabungstechnik, Durchsatz und Formfaktor angepasst werden. Vom Design bis zur Fertigung bieten wir Einheiten mit unterschiedlicher Komplexität und Präzision. Dabei können wir die erforderliche Hardware, Software, Bildverarbeitung, Optik, Submikrometer-Messtechnik, Umweltkontrolle und Materialhandhabung integrieren, um Ihre Anforderungen zu erfüllen – von Einzeleinheiten bis hin zu einer Breite von 4 Einheiten.

      Schnellere Markteinführung

      Da alle erforderlichen Fähigkeiten unter einem Dach vereint sind, wird die Lieferung makelloser Produkte erheblich vereinfacht. Zu unseren Optionen gehören: 

      • Eine Reihe von Endeffektor-Technologien: Bernoulli, Kantengriff oder Vakuumgriff
      • Optionen zur ESD-Ladezustandskontrolle
      • Integration von Funktionen für Vakuum und Kontamination
      • Konfigurierbares Layout zur Prozessvereinfachung und/oder Optimierung der Stellfläche/des Formfaktors
      • Hochpräzise Ausrichtsysteme mit einer Genauigkeit von 10 µm
      • Erfahrung mit integrierter Vibrationsdämpfung

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      Weitere Pluspunkte: Expertise in den Bereichen Vision, Optik und KI

      Zusätzlich bieten wir Optionen zum Systemdesign für Optik und Vision, einschließlich Barcode-Lesegeräten, optischer Zeichenerkennung (OCR), Fehleranalyse und -klassifizierung, Kontaminationserkennung und Ebenheitsmessung. Bei Bedarf kann zusätzliche Sensortechnologie integriert werden. Unsere interne Software zur vorausschauenden Zuverlässigkeitsanalyse ermöglicht eine kontinuierliche Systemüberwachung und -reaktion.

      Sicherheit, Zuverlässigkeit und SEMI-Konformität

      Unser EFEM ist eine zuverlässige Plattform mit einer hohen MTBF und solider Leistung. Die Plattform erfüllt die CE- und SEMI-Standards für Hardware und Software, einschließlich S2, S8, E84, E87 und E58.

      Optionen und Funktionen zur Anpassung: 

       

      EFEM-Plattform

      Umwelt
      • Mini-Umgebung für Betrieb bis zu ISO-Klasse 1
      • Temperaturkontrolle
      • Reduktion elektrostatischer Aufladung
      Wafer-Handhabung
      • Wafer-Größe: 100, 150, 200, 300
      • Für verschiedene Stärken und gewölbte Wafer geeignet
      • Unterschiedliche Substratmaterialien (Glas, Silizium, Siliziumkarbid, Germanium))
      • End-Effektoren oder verschiedene Greiftechnologien (Kante, Vakuum, Bernoulli)
      • Wafer-Drehung
      • Spezielle Wafer oder andere Substrate (Fotomaske, Film-Rahmen, Display, JEDEC-Trays)
      • Industry Standard SMIF and FOUP Load Ports
      • Eignet sich für spezielle Module wie hochpräzise Justiervorrichtungen
      Robotik
      • Einzel- und Doppelarm
      • 3 und 4 Achsen

      Vision & Optik
      • Barcode-Reader
      • Erkennung von Referenzmarken
      • OCR
      • Analyse und Klassifizierung von Defekten
      • Ebenheitsanalyse
      Softwareanforderungen und -funktionen
      • SEMI-kompatible Bibliotheken für Standard-Wafer mit 300 mm & 200 mm
      • Schnittstellenprotokolle zum Host-Controller in Standard-EFEM
      • SMEMA- & SECS/GEM-Schnittstellen
      • Funktionen für Datenmanagement und Rückverfolgbarkeit
      • SEMI-E95-Konformität für Mensch-Maschine-Schnittstellen (HMI)
      • Wafer-Mapping